檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "鄧昭瑞".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="外差干涉術"
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本研究提出一套共面偵測分束器式光柵干涉儀，此套干涉儀採用「雙繞射式」的光路設計進行系統開發，透過光柵與反射鏡的搭配使通過光柵後的繞射光束再次穿過光柵形成二次繞射，用以引進加倍的的相位變化量，可有效提…
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」，用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計，僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀，用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發，同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢，使系…